Uniforme de pel·lícula fina d’òxid d’indium (ITO), òxid de zinc dopat d’alumini (AZO), òxid de zinc (ZNO) i capes d’òxid dopat amb fluor es produeixen generalment per tecnologia de piròlisi de polvorització ultrasònica. Aquest procés únic requereix equips de recobriment especialitzats per crear el gruix i la forma de recobriment necessaris i per polvoritzar solucions corrosives en entorns d’alta temperatura.
Durant la piròlisi de polvorització d’ultrasons d’alta temperatura, la solució precursora (com l’òxid de zinc d’alumini) es ruixa al substrat escalfat a aproximadament 300-500. El dissolvent s’evapora durant el transport, i una pel·lícula de cristall ZnO creix a la superfície del substrat, generalment calci de sodi o altres vidres. La temperatura del substrat sol determinar les característiques morfològiques de la pel·lícula.
La deposició humida per a polvorització ultrasònica proporciona als fabricants una alternativa rendible a la deposició i a la sputtering de buit, amb una major eficiència de transferència. La mida de les gotes generada per la boquilla d’atomització d’ultrasons és altament uniforme, cosa que pot aconseguir la mida òptima de les gotes per a la reacció de piròlisi, i totes les gotetes reaccionaran simultàniament de la mateixa manera durant el procés de deposició. Tant si es tracta d’investigació i desenvolupament com de producció massiva, això comportarà processos eficients de producció de TCO.
L’ús de la boquilla ultrasònica divertida supera el repte del procés de polvoritzar àcids altament corrosius. La boquilla està feta de materials estructurals resistents a la corrosió i té les propietats de cap bloqueig, repetibilitat i llarga vida. Fins i tot pot ruixar solucions d’àcid clorhídric o àcid hidrofluoric altament corrosiu.
Avantatges del sistema de piròlisi en polvorització d’ultrasons per al recobriment TCO:
1. En comparació amb el procés de CVD (deposició de vapor químic), la piròlisi de polvorització d’ultrasons és senzilla, flexible i rendible.
2. Experiència provada de recobriment TCO.
En comparació amb altres mètodes de polvorització, els broquets d’ultrasons poden dipositar capes més uniformes.
4. Paràmetres de recobriment fàcils d’ajustar i repetibles.
5. Tecnologia de broquet d’ultrasons patentada totalment integrada i lliurament de líquids, proporcionant una solució completa de recobriment.
Els processos alternatius de la piròlisi de polvorització a baixa temperatura (250 graus i inferiors) estan constantment emergents, i s’han realitzat més investigacions i desenvolupament en productes químics que no necessiten substrats objectiu d’alta temperatura.
